Who's Online

Έχουμε 60 επισκέπτες συνδεδεμένους

Γραφείο Διασύνδεσης



Nanosciences & Nanotechnologies
Τεχνικές Μίκρο & Νανοδιεργασιών

Λιθογραφία (Υγρή και ξηρή απόξηση), Καθαροί χώροι (clean-rooms), Διεργασίες λιθογραφίας (οπτική λιθογραφία, λιθογραφία ηλεκτρονικής δέσμης). Εγχάραξη (Χημική, με πλάσμα ιόντων). Θερμικές διεργασίες (Ανόπτηση, διάχυση προσμείξεων, οξείδωση, Ιοντική εμφύτευση). Διεργασία LIGA (ακτίνων-Χ & UV), Electroplating, Molding. Tεχνικές Εναπόθεσης Λεπτών Υμενίων, Συσκευασία. Λεπτά υμένια Μικροηλεκτρονικής (διηλεκτρικά, πολυκρυσταλλικό πυρίτιο, μέταλλα επαφών και διασυνδέσεων) Ηλεκτρικές, Μηχανικές, Θερμικές και Οπτικές ιδιότητες Πυριτίου, κρυσταλλική δομή του Πυριτίου. SIMS, φασματοσκοπία ηλεκτρονίων Auger, περίθλαση ακτίνων-Χ. SEM, TEM, EDAX, WDAX. Μελέτη ειδικής περίπτωσης (case study) και Εργαστηριακή εξοικείωση με τεχνικές & μεθόδους.

 


Διδάσκοντες: Σ. Λογοθετίδης, Κ. Πορφυράκης, Ν. Κονοφάος, Α. Λασκαράκης, Π. Πατσαλάς, Κ. Φωστηρόπουλος

Διδακτικές Μονάδες: 3

Μονάδες ICTS: 7.5