Το Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος" λειτουργεί από 1/1/2002 ως εθνικό "Κέντρο Αριστείας σε Μικρο, Νανοτεχνολογία και Μικροσυστήματα", χρηματοδοτούμενο από το Υπουργείο Ανάπτυξης. Το Ινστιτούτο διαθέτει πλήρη εξοπλισμό, μοναδικό στην ελληνικό χώρο, για διεργασίες Μικρο και Νανοτεχνολογίας, σε χώρους υψηλής καθαρότητας 300 m2.

Επίσης διαθέτει εξοπλισμό χαρακτηρισμού νανοδομών και νανοδιατάξεων, χαρακτηρισμού και ελέγχου αισθητήρων και μικροσυστημάτων και σχεδιασμού νανοδιατάξεων, αισθητήρων και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, όπου μπορούν να εκτελέσουν τις Διπλωματικές τους εργασίες φοιτητές του ΔΠΜΣ. Εκτός από τον εξοπλισμό, τo Ινστιτούτο διαθέτει μοναδική τεχνογνωσία και εξειδίκευση σε Μικρο- και Νανοτεχνολογίες.

Τόσο ο εξοπλισμός, όσο και η τεχνογνωσία θα διατεθούν στα πλαίσια του παρόντος ΔΠΜΣ για την μεταπτυχιακή εκπαίδευση των σπουδαστών, που θα μπορούν να εκτελούν στο Ινστιτούτο είτε την διπλωματική τους εργασία, είτε πρακτική εξάσκηση ή έρευνα για διδακτορική διατριβή, μετά το πέρας του μεταπτυχιακού τους υπό την επίβλεψη των ερευνητών του Ινστιτούτου.

http://imel.demokritos.gr